Vacuümoven, dat wil zeggen, in de specifieke ruimte van de ovenkamer, wordt het vacuümsysteem (zorgvuldig samengesteld door vacuümpomp, vacuümmeetinstrument, vacuümklep en andere componenten) gebruikt om een deel van de stoffen in de ovenkamer af te voeren, zodat de druk in de ovenkamer lager is dan een standaard atmosferische druk, en de ruimte in de ovenkamer wordt gebruikt om een vacuümtoestand te bereiken, wat een vacuümoven is.
Een vacuümoven is een apparaat dat opwarmt in een vacuümomgeving. De ovenkamer is verbonden met het hoogvacuümpompsysteem in een oven die is afgesloten met een metalen of kwartsglasdeksel. De vacuümgraad van de oven kan 133×(10-2~10-4)Pa bereiken. Het verwarmingssysteem in de oven kan direct worden verwarmd door elektrische verwarming van weerstandsovendraad (zoals wolfraamdraad), of het kan worden verwarmd door hoogfrequente inductie. De maximale temperatuur kan ongeveer 3000 graden bereiken. Het wordt voornamelijk gebruikt voor keramiek bakken, vacuüm smelten, ontgassen en gloeien van elektrische vacuümonderdelen, solderen van metalen onderdelen en keramiek-metaal afdichting.
